结构改进的厘米尺寸谐振腔的磁场传感特性

作者：于长秋^*; 马世昌; 陈志远; 项晨晨; 李海; 周铁军^*

来源：Acta Physica Sinica, 2021, 70(16): 22-28.

• 磁场传感
• 光学谐振腔
• 回音壁模式

基于光力谐振腔的磁力仪在应用时主要受限于灵敏度和检测带宽两个指标.本文设计了一种厘米尺寸的回音壁模式谐振腔结构,可探测6 Hz至1 MHz频率范围内的交变磁场,在无磁屏蔽、室温环境下、无直流偏置磁场时,其最佳灵敏度在123.8 kHz可达530 pT·Hz–1/2,探测带宽和最佳灵敏度分别为同尺寸谐振腔的11倍和1.67倍.该磁场传感器仅需100μW的光功率,功耗很低.后续通过优化系统噪声、提升器件磁场响应能力等手段可进一步提升其传感性能,有望在电力系统故障监测和医学诊断等领域发挥其应用潜力.

• 单位
  杭州电子科技大学