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摘要
研制了一种基于无转移聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)或聚酰亚胺(PI)的漏孔元件。通过在铜箔上旋涂PMMA或PI，另一面旋涂光刻胶，并利用紫外光刻打孔，在铜箔上刻蚀出了不同阵列的直径约10 μm的小孔。基于差压法测量了氦气通过该标准漏孔元件的流导。结果表明：在从5 kPa到105 Pa压力范围内，各测试样品均表现出分子流动状态；无转移PMMA或PI的流导和有效渗透面积呈线性关系，可通过控制小孔数量来控制PMMA或PI的有效渗透面积，从而获得不同的流导；所开发的无转移PMMA或PI为优良的低渗透漏孔理想材料。
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