化学机械抛光在MEMS中的应用

作者：张小小; 傅四海; 欧蔼新

来源：南方农机, 2016, 47(10): 123.

• 化学机械抛光
• MEMS
• 应用

本文以化学机械抛光技术的含义、特点为切入点,就其在MEMS系统中的具体应用方法,进行细致的探讨研究,期望为普及、推广化学机械抛光技术、提升MEMS超精密加工的精度与质量,提供有益的参考。

• 单位
  沈阳理工大学