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摘要
本发明公开了一种精密定位驱动端预紧装置,包括定位平台、驱动器、电容传感器、电容传感器支架、预紧块、薄膜力传感器；定位平台的中部开设有一滑槽,所述预紧块、薄膜力传感器和驱动器依次置于该滑槽内；电容传感器支架固定在定位平台上,电容传感器支架的架体一侧轴向设有三根通过柔顺铰链依次连接的连杆,电容传感器的端面与预紧块的上侧面相互平行、并具有间隙；定位平台上还设置有用于对预紧块进行预紧的两级预紧装置。满足精密定位、精密与超精密加工、精密操作、精密测量及微机电系统等相关领域对精密定位驱动端预紧装置的需要。本装置技术手段简便易行,相对于现有技术具有突出的实质特点和显著的进步。
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