基于静电驱动的平行板式微执行器的静态吸合现象的研究

作者：李伟华

来源：电子测试, 2021, (02): 53-56.

DOI：10.16520/j.cnki.1000-8519.2021.02.017

• 吸合现象
• 边缘效应
• 静态
• 静电微执行器

本文先讨论了基于静电驱动的平行板式微执行器在忽略边缘效应下的静态吸合现象,之后在前面研究的基础上,进一步分析了该微执行器在考虑边缘效应下的静态吸合现象,最后建立该微执行器的模型,并设置参数,仿真得到结果证明静态吸合现象的发生。