电容式微机械超声换能器的电流信号检测电路设计

作者：党荣; 何常德; 孟亚楠; 卢小星; 张**; 张文栋^*

来源：传感器与微系统, 2022, 41(07): 96-100.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)07-0096-05

• 电容式微机械超声换能器
• 低噪放大电路
• 频谱响应
• 集成化
• 信噪比
• 宽频带

针对在接收超声波信号时电容式微机械超声换能器(CMUT)输出的微弱电流信号检测需求，设计了一种高频微弱电流信号低噪声放大电路，该电路将CMUT换能器输出电流信号转换并放大为电压信号，并将该放大电路和CMUT换能器集成于同一印刷电路板(PCB)基板上，减小了检测电路连接线对CMUT换能器输出性能的影响，提高了整体性能。首先对该低噪放大电路结构进行了交流小信号仿真，并进行了实验验证，然后对CMUT换能器的信噪比、线性度与带宽进行了测试。测试结果表明：集成后的CMUT换能器信噪比为50.62 dB,中心频率工作时的线性度为1.612%,6 dB相对带宽为101.98%。

• 单位
  中北大学