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摘要
微悬臂梁是多种MEMS传感器件的基本结构之一,改善微悬臂梁的测量性能一直受到人们广泛关注;为提高传统微悬臂梁的灵敏度,引入了应力集中区域,仿真分析了不同特征应力集中区域对灵敏度和测量范围的影响规律,设计制备了一种SCR梁式G开关,可根据系统需要改变SCR特征从而调整开关性能指标;该开关作为处理器状态控制电路的重要器件应用于导弹包装箱状态监测微系统中,具有良好的适用性。
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单位中国人民解放军陆军工程大学; 上海市计量测试技术研究院
