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摘要
本发明属于半导体材料的技术领域,公开了一种钠掺杂p型氧化锌纳米棒材料及其制备方法与应用。所述方法为(1)将氧化锌、石墨与焦磷酸钠混匀放入舟中,备用；(2)将衬底进行表面预处理,采用磁控溅射法在衬底的表面溅射一层氧化锌缓冲层；(3)将舟和衬底放置在反应装置中,装有混合料的舟放置在载流气体上风向的位置,衬底放置在载流气体下风向的位置,通过高温化学气相沉积法在衬底上制备钠掺杂p型氧化锌纳米棒材料。本发明实现了钠掺杂于p型氧化锌,所制备的p型氧化锌纳米棒重复性好、空穴浓度高、可用于制备氧化锌基光电器件；本发明的方法简单,成本经济。
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