退火对Mn-Co-Ni-O薄膜器件性能的影响

作者：张飞; 欧阳程; 周炜; 吴敬; 高艳卿; 黄志明

来源：红外与毫米波学报, 2017, 35(03): 287-293.

• Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4薄膜
• 器件性能
• 退火温度
• 探测率
• 响应率

采用磁控溅射法制备了厚度为6.5μm的Mn_(1.95)Co_(0.77)Ni_(0.28)O_4组分的薄膜材料,把材料分别在400℃,500℃,600℃,700℃,800℃下进行后退火处理.结果表明,室温下的负电阻温度系数α295值随退火温度增加先增大后减小,而电阻率ρ_(295)则是随退火温度增加逐渐减小的;在相同频率下,500℃退火样品的归一化噪声谱密度(S_V·V_R/V~2)最小,700℃退火样品的归一化噪声谱密度最大.退火温度越高会造成越多的晶体缺陷,从而降低有效导热系数、增大时间常数τ和器件噪声.

• 单位
  红外物理国家重点实验室; 中国科学院上海技术物理研究所