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摘要
基于弹性磨具的磨抛工艺为硬脆材料超精密加工效率与加工质量的兼顾平衡提供了新的解决思路，但其磨抛过程的材料去除机理尚未明确。为研究弹性磨抛过程中的材料去除行为，以硅橡胶作为磨具基体材料，混合微米级金刚石磨料制备弹性基体软固结磨料磨具，利用有限元仿真分析方法研究弹性基体软固结磨粒的受力状态，结合接触力学与运动学分析建立考虑单颗磨粒磨损行为与有效磨粒数量的材料去除模型，通过石英玻璃试件的弹性磨抛加工试验验证预测模型的准确性。结果表明：石英玻璃试件的材料去除率随着磨抛压力、主轴转速、磨具偏角的增大而显著增加，而磨料粒径对其影响程度较小；当工艺参数组合为磨料粒径100μm、磨抛压力7 N、主轴转速1 500 r/min、磨具偏角20°时，经60 min磨抛后，工件已加工表面粗糙度由1.069μm降至0.089μm，材料去除率为8.893×108μm3/min；该试验条件下，建立的材料去除模型预测准确度相比Preston经典模型提高36.7%。研究成果为实现硬脆材料的确定性材料去除提供技术支持和理论依据。
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