提出一种利用调制深度响应曲线的全局信息进行重叠峰识别的结构光照明显微术，采用有边界约束的最优化算法解析得到薄膜样本各表面的高度，进而实现厚度分辨力高、精度高、计算速度快的膜层厚度分布测量与表面形貌重构。根据仿真分析，在理想条件下所提方法可将厚度检测分辨力从483 nm提升至175 nm，并通过实验证明了所提方法可减少迭代次数，且具有较高的重复性精度。
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