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摘要
设计了连续浮雕衍射微透镜和与其等效的二元亚波长衍射微透镜 ,采用旋转体时域有限差分法对通过计算机辅助设计出的元件进行了严格的矢量分析 ,给出了各元件在焦平面的场强分布 分析结果表明 ,本文设计的二元亚波长微透镜对连续浮雕微透镜有很好的等效效果 ;填充因子的脉冲宽度调制法要优于填充因子的线性近似法 ;制作相对误差不大时深度误差和宽度误差对微透镜聚光能力的影响不大
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单位中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 应用光学国家重点实验室
