二氧化硅平面光波导器件的研究进展

作者：杨斌; 尹小杰; 李绍洋; 吴远大

来源：半导体光电, 2021, 42(02): 151-157+167.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2021.02.001

• 有源光子集成波导器件
• 无源光子集成波导器件
• 集成光学
• 光通信系统

二氧化硅平面光波导(PLC)器件以其低损耗、高工艺容差,以及与CMOS工艺兼容和与单模光纤模场匹配良好等优点,在光通信、光互连和集成光学中得到了广泛的应用。文章综述了二氧化硅平面光波导器件及其应用的进展,重点针对分束器、阵列波导光栅、可调光衰减器及其集成器件的最新研究进行了介绍,对未来发展趋势进行了展望。

• 单位
  中国科学院半导体研究所; 中国科学院大学