MoSi_2发热元件的高温失效行为分析

作者：冯培忠; 曲选辉; 杜学丽

来源：金属热处理, 2006, (10): 82-85.

DOI：10.13251/j.issn.0254-6051.2006.10.026

• 二硅化钼
• 发热元件
• 失效分析
• 高温失效 molybdenum disilicide(MoSi_2)
• heating element
• failure analysis
• high-temperature failure

在1700℃空气中对MoSi2发热元件的高温失效行为进行了研究,用XRD和SEM分析了发热元件使用前后的物相构成、组织结构和断口特征。结果表明,在1700℃失效发热元件表面及内部布满大量空隙和裂纹,Mo5Si3含量有所增加,元件表面保护膜呈熔融态,发热体内部有气体产生并形成气泡,气泡破裂后元件表面失去保护膜。断口出现宽度达0.2~0.3 mm的裂缝,晶粒从1~2μm长大为7~8μm。因此认为这种发热元件不适合在1700℃以上使用。