一种锂钴锰氧化物靶材及其制备方法

作者：吴隽; 付豪; 王凯丰; 黄成彬; 张绍奇

来源：2021-06-11, 中国, ZL202110652019.4.

本发明公开了一种锂钴锰氧化物靶材及其制备方法。其技术方案是：按氧化锂∶四氧化三钴∶二氧化锰的摩尔比为1∶(0.417～0.667)∶(1.25～2)配料,于球磨罐中球磨,得到混合料；将所述混合料置入马弗炉中,在空气气氛中加热至1000～1200℃,保温18～30h,得到锂钴锰氧化物产物：Li-((3+2x)/3)Co-((3-x)/3)Mn-((3-x)/3)O-4,其中：0≤x≤0.5；将所述锂钴锰氧化物产物在1000～1200℃和75～125MPa条件下,热压烧结1～3h,得到锂钴锰氧化物胚料；对所述锂钴锰氧化物胚料进行精加工,清洗,制得锂钴锰氧化物靶材。本发明具有生产成本低、操作简单、产品形状和尺寸均可控的特点,制备的锂钴锰氧化物靶材密度高,适用于各种物理气相沉积法制备锂钴锰氧化物薄膜。

• 单位
  武汉科技大学