非水溶液中电化学沉积制备Sb_2Te_3热电薄膜

作者：姚琴; 王春芬; 刘付胜聪; 陈立东

来源：稀有金属材料与工程, 2007, S2: 419-421.

• 电化学沉积
• Sb_2Te_3
• 热电薄膜
• 非水溶液 electrodeposition
• thermoelectric thin film
• non-aqueous solution

采用电化学沉积法,从非水溶液DMSO中制备了Sb_2Te_3热电薄膜。并采用循环伏安、SEM、XRD、EPMA等技术分别对电化学沉积过程和产物的形貌、结构、组成进行了研究。结果表明,在非水溶液二甲亚砜(DMSO)中,当电解液中Sb原子和Te原子的摩尔比为2:3,沉积电位为-2.2V时,在室温下即可得到单相的Sb_2Te_3热电薄膜,元素的组成接近化学计量比,组成薄膜的为大小均匀的球状颗粒,直径约为2～3μm左右。沉积电位对薄膜的组成影响明显,通过改变沉积电位,可以分别得到Te微过量的薄膜和近化学计量比的薄膜。

• 单位
  高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室; 中国科学院上海硅酸盐研究所; 中国科学院研究生院