对微扫描成像技术的研究现状进行了分析,建立了红外成像系统模型,分析了微扫描成像技术的技术原理,对其超分辨能力理论仿真分析,并通过实际红外微扫描成像系统对超分辨率效果进行验证,并对成像结果进行了分析和评价。