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摘要
为了更好地满足动态压力的测量需求，研究了一种基于法布里-珀罗（Fabry-Perot,F-P）干涉原理的膜片式光纤动态压力传感器。从理论上分析了多个反射面对F-P腔光谱的影响，提出了得到单一F-P腔的方法。进而采用机械研磨的方式对传感器膜片外表面进行粗化加工，有效解决了由多个反射面带来的光谱复杂问题。对传感器进行静态压力和动态压力标定试验，结果表明：传感器性能良好，在0～200 kPa（表压）范围内的静态压力测量误差小于等于0.5%FS；在20～2500 Hz范围内，传感器的幅值灵敏度相对误差优于±10%。
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单位中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
