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摘要
在高能辐射同步光源验证装置（HEPS-TF）阶段，研制了一台低温永磁波荡器（CPMU）样机，周期长度为13.5 mm。低温波荡器的磁结构放置在真空室中，存在大量的材料出气与夹气，为了提供束流正常运行所需的超高真空环境，研制了波荡器的超高真空系统。首先估算了波荡器的放气率、放气量，并根据指标要求计算了真空系统所需的有效抽速；然后合理设计了配泵方案；在真空室加工完成后进行了极限真空测试；波荡器安装调试完成后，在没有经过真空烘烤的情况下，真空度在常温下达到5×10-7Pa，低温下达到4.8×10-8Pa，均优于设计指标。
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