日本森田化学时隔6个月重启氟化氢对韩出口

作者：王连心

来源：化学推进剂与高分子材料, 2020, 18(02): 47.

<正>日本化工企业森田化学工业已重启用于尖端半导体制造的高纯度氟化氢的对韩国出口。该公司从日本政府获得许可,时隔约6个月后恢复出货。据报道,森田化学在韩国掌握约三分之一的市场份额,向三星电子和SK海力士等半导体厂商供货。高纯度的氟化氢呈液态,用于半导体晶圆的清洗,还成为蚀刻剂的原料。