探讨半导体蚀刻机台温湿度监控系统

作者：黎金睿; 金景怡

来源：电子世界, 2021, (24): 168-169.

DOI：10.19353/j.cnki.dzsj.2021.24.072

<正>蚀刻技术是指在半导体制造工艺中,在适宜的温、湿度环境下,利用化学溶液或者等离子体,对半导体表面选择性去除的技术。半导体蚀刻机台则是进行蚀刻工艺的设备,为其提供合适的环境。基于此,本文先探讨此类温湿度监控系统必要性,再分析目前国内外研究状况,最后对整个系统进行介绍,以供相关工作人员参考。