具有绝热结构的高性能锰钴镍氧热敏探测器的制备及特性研究

作者：刘福浩^*; 杨晓阳; 高燕; 杨荣; 许金通; 李向阳

来源：半导体光电, 2021, 42(05): 615-623.

DOI：10.16818/j.issn1001-5868.2020080305

• 锰钴镍氧薄膜
• 绝热结构
• 热导
• 响应率

通过湿法腐蚀工艺成功制备了具有绝热结构的锰钴镍氧(MCNO)热敏电阻探测器。测试表明,绝热结构使得热敏探测器的热导大幅降低,在真空环境下仅为没有绝热结构器件的1/20,典型热导率值为1.37mW/K。通过V-I测试并结合理论曲线拟合发现,MCNO薄膜材料的热导率随温度增高而减小。绝热结构使得MCNO热敏探测器的响应率大幅提高,在30Hz调制频率、36V偏置电压下,响应率典型值为50.5V/W,是没有绝热结构器件的10倍。实验验证了在MCNO薄膜材料上制作绝热结构热敏探测器的可能性,为制作新型室温全波段高性能红外探测器奠定了基础。

• 单位
  中国科学院上海技术物理研究所; 传感技术国家重点实验室