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摘要
目的 研究不锈钢经电解质等离子体抛光后，表层元素化学形态的变化及机制，为材料去除机理、表面性能、工艺参数、抛光液处理等相关研究提供参考。方法 通过表面粗糙度测试仪、扫描电镜分别对加工前后试样表面粗糙度、形貌变化进行测试表征。通过X射线光电子能谱技术，对加工前后试样表面及抛光液沉积物中主要元素的组成、化学态、分子结构进行测试表征。结合加工现象及材料去除机理，分析加工过程中固、液、气、等离子体之间的界面反应。结果 电解质等离子体抛光后，试样表面平整光亮，预处理中粗磨的痕迹已被完全去除。Ra平均值由0.311μm降低至0.045μm,Rq平均值由0.442μm降低至0.059μm,Rz平均值由3.260μm降低至0.369μm。与抛光前试样相比，抛光后试样表层检测到S+6和Ni+2，沉积物中的Fe均为Fe+3,Cr主要为Cr+3，含有少量Cr+6。抛光后试样表面及沉积物中金属元素的化合物主要为氧化物和氢氧化物。结论 电解质等离子体抛光316LVM不锈钢有显著效果，抛光后试样表面粗糙度明显降低。抛光过程中，试样表面主要发生氧化反应，氧化性物质主要来自水。硫酸根离子在加工中与金属离子生成了硫酸盐，可能未参与氧化还原反应。试样表面的铁、铬、镍以氧化态形式被去除，抛光液中氧化态的铁、铬以沉淀形式存在，氧化态的镍以络合物的形式存在。
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