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摘要
本发明公开了一种基于主动隔振的宏微双驱动精密定位装置及控制方法,包括机械运动本体单元、检测单元及驱动控制单元；所述机械运动本体单元包括定位装置底座、U形台、微动平台、有铁直线电机及APA驱动器；所述检测单元包括用于检测U形台位移量的光栅位移传感器、用于检测微动平台位移量的激光干涉仪及用于检测微动平台相对U形台水平方向振动量的电容位移传感器；所述控制单元包括直线电机伺服放大器、APA线性放大器、运动控制卡、计算机及数据采集卡,该装置采用主动振动的方式进行隔振,有效的减少了因机器振动对定位平台的影响,能进一步地实现更高精度的定位。
- 单位
