Na-Mg共掺杂ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备及性能研究

作者：刘细妹; 胡跃辉; 陈义川; 马德福; 徐斌; 张志明

来源：陶瓷学报, 2014, 35(03): 287-290.

DOI：10.13957/j.cnki.tcxb.2014.03.009

• 溶胶-凝胶法
• 共掺杂
• ZnO薄膜
• 微观结构
• 表面形貌
• 光学性能

在石英玻璃衬底上,利用溶胶-凝胶法制备了Na-Mg共掺的ZnO薄膜,研究改变Na掺杂量对ZnO薄膜的微观结构、表面形貌和光学性能的影响。样品采用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外—可见光分光光度计UV-VIS进行了表征。结果表明:随着Na掺杂增加,ZnO薄膜的结晶度提高,有利于(002)晶面择优生长,其中Na-Mg掺杂比为1:1时效果最佳,表面更平整,颗粒生长更致密,薄膜的透过率达88%,带隙宽度3.31 eV。

• 单位
  景德镇陶瓷大学; 电子工程学院