表面钝化前后Al_(0.22)Ga_(0.78)N/GaN异质结势垒层应变的高温特性

作者：张开骁; 陈敦军; 沈波; 陶亚奇; 吴小山; 徐金; 张荣; 郑有

来源：Acta Physica Sinica, 2006, (03): 1402-1406.

• Al_(0.22)Ga_(0.78)N/GaN异质结
• 应变
• Si3N4钝化
• 高温XRD Al_(0.22)Ga_(0.78)N/GaN heterostructure
• strain
• Si_3N_4 passivation
• high temperature XRD

用高分辨X射线衍射仪(HRXRD)研究了表面钝化前后Al_(0.22)Ga_(0.78)N/GaN异质结势垒层应变的高温特性,温度变化范围从室温到813K.结果表明,对未钝化的异质结,当测试温度高于523K时,Al_(0.22)Ga_(0.78)N势垒层开始出现应变弛豫;钝化后,在Al_(0.22)Ga_(0.78)N势垒层中会产生一个附加的平面拉伸应变,并随着温度的增加,势垒层中的平面拉伸应变会呈现出一个初始的增加,接着应变将减小,对100nm厚的Al_(0.22)Ga_(0.78)N势垒层,应变只是轻微地减小,但对于50nm厚的Al_(0.22)Ga_(0.78)N势垒层,则出现了严重的应...

• 单位
  人工微结构和介观物理国家重点实验室; 河海大学; 北京大学; 南京大学