采用溶胶-凝胶法制备了Zn1 -xFexO (x=0.01, 0.05, 0.10)纳米薄膜。X射线衍射谱显示所有样品均具有六角纤锌矿结构。而且在X射线衍射谱中没有发现其他相存在。研究了在不同的溶液浓度、退火温度和Fe浓度下制备的掺杂ZnO薄膜的光致发光谱。结果表明,热退火提高了样品的光学质量。溶液浓度为0.1 mol/L,且Fe含量较低的条件下,样品的光学质量有所提高。