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摘要
主要针对与电容检测式微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）陀螺仪敏感结构适配的信号调理电路，基于其所构成的MEMS陀螺仪测控系统工作原理，建立陀螺仪信号处理的数学模型，并根据陀螺仪系统线性度测试方法，提出一种可等效产生电路电容增益的信号调理电路线性度测试方法，该方法可用于实验室环境下陀螺仪信号调理电路线性度的评估。
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主要针对与电容检测式微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System, MEMS）陀螺仪敏感结构适配的信号调理电路，基于其所构成的MEMS陀螺仪测控系统工作原理，建立陀螺仪信号处理的数学模型，并根据陀螺仪系统线性度测试方法，提出一种可等效产生电路电容增益的信号调理电路线性度测试方法，该方法可用于实验室环境下陀螺仪信号调理电路线性度的评估。
