菲涅尔衍射光刻

作者：蒋忠君; 何伟; 陈经纬; 罗丹洋; 杨帆; 蒋凯; 王亮^*

来源：Acta Physica Sinica, 2023, 72(01): 134-141.

• 菲涅尔衍射
• 扩束系统
• 纳米光刻
• 直写光刻

通过合理选取等间距采样点的数目,利用快速傅里叶变换算法解释了有限通光光阑产生的“内密外疏”菲涅尔衍射条纹.基于菲涅尔衍射,在静态曝光、动态扫描条件下分别实现了约190 nm最小特征尺寸图形制备,以及约350 nm线宽线条直写.菲涅尔衍射光刻无需复杂的光学透镜组合,无需任何微纳衍射光学元件,且具有较大的聚焦容差.该方法有望成为一种新型的,低成本、高灵活度的亚波长图形制备手段.

• 单位
  中国科学技术大学; 物理学院