基于等离子法PDMS基体与玻璃键合效果分析

作者：严银; 李梦一; 戴隆超

来源：高分子通报, 2019, (06): 45-50.

DOI：10.14028/j.cnki.1003-3726.2019.06.005

• 聚二甲基硅氧烷
• 等离子法
• 正交实验
• 键合面积
• 键合效果 Polydimethylsiloxane
• Plasma method
• Orthogonal test
• Bonding area
• Bonding effect

采用等离子法对聚二甲基硅氧烷(PDMS)基体和玻璃进行表面处理,根据所设计的正交实验和对比实验进行键合,探究键合的最优工艺参数组合、键合面积与键合时间的关系以及PDMS基体放置时间与键合面积的关系。实验结果表明:影响PDMS基体-玻璃键合面积因素从主到次为空气流量>清洗时间>射频功率,正交实验所得最优方案参数组合为250W、2L/min、1min;最佳键合时间为12h,在此时间内,键合时间越长,键合效果越好;PDMS基体经过表面处理后,放置时间越长键合面积越小,为保证键合质量,键合实验通常在表面处理后10min内进行。

• 单位
  扬州大学