热沉衬底金刚石/铜复合材料表面金属化工艺研究

作者：王匀; 丁良兵; 刘东光

来源：电子机械工程, 2019, 35(02): 50-53.

DOI：10.19659/j.issn.1008-5300.2019.02.013

• 金刚石/铜复合材料
• 复合镀层
• 金属化

为了改善金刚石/铜复合材料的表面特性,采用化学镀镍与电镀金结合的方式。先通过SnCl2溶液和PdCl2溶液对复合材料表面进行敏化、活化等预处理,并研究预处理对后续化学镀镍层产生的影响。通过SEM(扫描电子显微镜)、EDXS(能量色散X射线光谱仪)、OM(光学显微镜)和热振、高温烘烤等实验措施数据的分析对复合镀层进行研究,研究结果表明,通过化学镀加电镀的方法在金刚石/铜复合材料表面得到了高结合力、均匀致密的镍合金镀层。

• 单位
  中国电子科技集团公司第三十八研究所; 合肥工业大学