新型大扫描范围原子力显微镜的研究

作者：施洋; 章海军

来源：光电工程, 2004, (06): 30-33.

• 原子力显微镜
• 控制系统
• 大范围扫描
• 拼接图像 Atomic force microscope
• Control systems
• Large scan range
• Spliced image

研制了一种大扫描范围原子力显微镜(AFM)。设计了新的扫描驱动电路,使单幅图像的扫描范围大幅度提高;用步进电机和扫描器配合扫描,得到序列图像,序列图像拼接后获得大范围样品图像。实验结果表明,采用这一方法,在±150V 的电压驱动下,AFM 的扫描范围可增大到10 ìm?1 mm 的量级,同时保持 1 nm 量级的测试分辨力。