采用纳秒级紫外DPSS激光和具有机器视觉定位功能的多轴高精度加工系统,对不锈钢、镍片、铍铜、聚酰亚胺等多种材料进行切割和打孔试验。通过调节离焦量、扫描速度、扫描次数,实现了0.1mm的金属薄板和聚合物薄膜的加工,取得了切缝光滑的加工效果,并且具有加工精度高、热效应小等特点。对不同材料的作用机理和工艺实验结果进行了分析,结果表明,紫外DPSS激光在铜类材料和聚合物类材料的加工上具有优势。
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