Bi4LaTi3FeO15薄膜的制备及电学性能研究

作者：王晓杰; 宿杰; 张永成; 李媛; 卢朝靖

来源：青岛大学学报(自然科学版), 2015, 28(01): 27-52.

DOI：10.3969/j.issn.1006-1037.2015.02.08

• Bi4LaTi3FeO15薄膜
• 溶胶-凝胶
• 铁电性能
• 介电性能

用溶胶-凝胶(sol-gel)工艺在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上沉积了Bi4LaTi3FeO15(BLTFO)薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对其微观结构进行了表征,用铁电测试仪和阻抗分析仪分别对其电学性能进行了测试。结果表明,所制备的薄膜为纯相四层层状钙钛矿结构,表面起伏度小、颗粒致密,厚度约为350nm。室温下,BLTFO薄膜显示出良好的铁电性能和介电性能,其剩余极化值2Pr为32.87μC/cm2。在300kHz下,相对介电常数εr为370,介电损耗tanδ为0.024。

• 单位
  青岛大学; 固体微结构物理国家重点实验室; 南京大学