疏水材料表面具有很多优异的性能,可用于材料表面自清洁、生物相容性和微流体系统等。本论文通过种子层预沉积和一步水热合成了氧化铟氧化物薄膜(ITO-ZnO)阵列复合表面,并通过静态接触角测试了该复合界面的疏水特性。研究表明,水热溶液的浓度、水热时间对ITO-ZnO表面微结构有较大影响,通过硬脂酸表面预处理可有效提高接触角。经过系列优化实验,调控水热溶液浓度为0.03mol/L、水热时间为4h、硬脂酸浸泡表面预处理后ITO-ZnO表面的静态接触角达到146.7°,接近超疏水性能。