冷阴极X射线管关键部件的设计与仿真

作者:张扬; 李振军; 李元勋; 李驰; 赵立业; 戴庆*
来源:真空电子技术, 2022, (04): 36-42.
DOI:10.16540/j.cnki.cn11-2485/tn.2022.04.06

摘要

利用CST粒子工作室软件设计仿真了一种高电子通过率冷阴极微焦点X射线管。重点分析X射线管阴极结构、栅网和聚焦极的结构与电压、阳极电压等关键因素对电子束聚焦束斑的影响,特别是设计了一种独特的阴极凹槽结构,使阴极电子束发射的散角减小了21.84°,并使电子枪通过率从54.3%增加至74.59%。在此基础上设计的碳纳米管X射线管在阳极电压为70 kV时,电子通过率可达到75%,电子束焦点约为56 μm,聚束比为5∶1,可为冷阴极微焦点X射线管的设计和加工提供参考。

全文