摘要

纳米颗粒是一种应用广泛的低维纳米材料,它的热物理性质研究对微纳米器件的热管理具有重要的参考价值。目前,迫切需要能表征单个纳米颗粒的热物理性质的测量方法。本研究提出了一种改进的扫描热显微镜(SThM)方法,实现纳米尺度的热分布扫描。通过一系列标准样品的校准,结合纳米颗粒的热阻模型,推算得到室温下单SiO2纳米颗粒的热导率,并揭示了接触热阻对测量的影响。该方法为纳米尺度热物理性质的定量测量提供方向性的指导。