工业硅中杂质相的微观结构及分布规律研究

作者：李圣; 陈龙庆^*; 邱文彬

来源：四川大学学报(自然科学版), 2022, 59(06): 135-139.

DOI：10.19907/j.0490-6756.2022.065002

• 工业硅
• 微观结构
• 夹杂物
• 二甲基二氯硅烷

工业硅中杂质相成分及比例直接影响有机硅单体合成的活性与选择性.因此，研究杂质相与杂质含量的对应关系尤为重要.本文通过扫描电镜(SEM)和能量色散X射线光谱仪(EDX)对精炼前和精炼后工业硅中夹杂物微观结构及赋存状态进行了研究.由于精炼前工业硅的Ca和Al含量较高，其杂质相主要以Si2Al2Ca、Si-Al-Ca和Si8Al6Fe4Ca等为主；而精炼后Fe为主要元素，故其析出相主要包括FeSi2(Al)、FeSi2Ti和Si8Al6Fe4Ca等.此外，本文通过Image Pro Plus进行统计，得到精炼前硅中Si2Al2Ca和Si8Al6Fe4Ca相分别占夹杂物成分的48%和30%,而精炼后硅中FeSi2(Al)相占比68%,唯一含Ca相(Si8Al6Fe4Ca)仅占夹杂物含量的7%.本文将精炼前和精炼后的工业硅中杂质相成分及比例进行比较，意为寻找硅中杂质含量对杂质相的影响规律，以制备最佳的下游有机硅用工业硅原料.

• 单位
  四川大学