化学气相沉积法合成Si3N4纳米带的研究

作者：李思婷; 李增祎; 傅煜然; 刘丽; 谭嘉林; 赵文科; 谭浩博; 陈洋^*

来源：非金属矿, 2023, 46(05): 1-3.

• Si3N4纳米带
• 催化
• 化学气相沉积法
• 显微结构

以Si粉、酚醛树脂和硝酸铁为原料，采用化学气相沉积法在氮气气氛下合成Si3N4纳米带。研究了热处理温度和硝酸铁添加量对合成Si3N4纯度和形貌的影响。结果表明，在非催化作用下，热处理温度升高有利于提高Si3N4纯度；温度为1 500℃时，合成高纯Si3N4，其中α-Si3N4和β-Si3N4生成量分别为91%和9%。添加催化剂显著影响Si3N4形貌，其形貌由直线形带状结构演变为蜷曲的带状结构，具有这种带状结构的Si3N4为α-Si3N4；当硝酸铁添加量为5%时，α-Si3N4生成量较高，为95%。

• 单位
  湖南工学院