热丝化学气相法生长单晶金刚石颗粒的衬底温度场仿真及实验研究

作者：左伟; 沈彬; 孙方宏; 陈明

来源：人工晶体学报, 2007, (5): 1085-1090.

DOI：10.3969/j.issn.1000-985X.2007.05.024

• 热丝化学气相沉积
• 温度场
• 仿真
• 单晶金刚石颗粒
• 同质外延生长

本文使用金刚石磨料作为晶种颗粒,通过热丝化学气相法生长出单晶金刚石颗粒,并且建立三维的有限元模型,利用有限元仿真分析了生长过程中影响金刚石磨料生长速率以及沉积质量的各种因素,如热丝的排列方式,衬底的温度场,以及晶种的分布方式.通过固定在热丝CVD反应腔里的热电偶测量了实际的衬底温度分布,从而验证了仿真结果的正确性.另外,通过改变仿真模型优化了沉积单晶金刚石颗粒的工艺参数,获得适应于合成单晶金刚石

• 单位
  上海交通大学