本发明介绍了一种基于固定流导元件改进定压法测试NEG吸气性能系统,在进气室和吸气室之间安装纳流控固定流导元件,结合微调针阀,提供可控精确的进气流量,在测试过程中维持吸气室压力恒定。使用的纳流控固定流导元件为玻璃-硅分子流漏孔或者石墨烯分子流漏孔。通过测量记录进气室内部压力变化,获得瞬时抽速、吸气量、最大吸气量和扩散活化能等NEG吸气性能参数。本发明装置可以用于测试不同吸气压力、工作温度、吸气材料以及吸气能力的NEG吸气性能,也可以用于测试蒸散型吸气剂的吸气性能。
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