钛过渡层及研磨预处理对金刚石薄膜质量的影响

作者：赵齐; 代明江; 韦春贝; 邱万奇

• 金刚石薄膜
• 热丝CVD
• 钛过渡层
• 研磨预处理 diamond films
• hot filament chemical vapor deposition
• buffer layer of titanium
• abrading pretreatment

以紫铜为基体,采用热丝CVD法合成金刚石薄膜,研究了钛过渡层及研磨金刚石粉(俗称"种植晶仔")预处理对金刚石薄膜生长状态的影响。用X射线(XRD)、拉曼光谱、扫描电镜(SEM)对所沉积的金刚石薄膜进行了研究。研究发现:活性钛金属过渡层有利于金刚石的形核,而且也提高了成膜质量;"种植晶仔"预处理有利于金刚石形核,而且减少了非晶碳的形成。

• 单位
  华南理工大学; 广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)