坩埚厚度对多晶硅定向凝固的影响

作者：刘志辉; 罗玉峰; 饶森林; 胡云; 龚洪勇; 刘杰

来源：热加工工艺, 2017, 46(11): 74-77.

DOI：10.14158/j.cnki.1001-3814.2017.11.020

• 多晶硅
• 温度场
• 热应力
• 数值模拟

运用Comsol Multiphysics有限元软件对多晶硅的定向凝固过程进行了模拟,分析了不同坩埚厚度(15、20、25 mm)对多晶硅熔化、结晶过程及晶体热应力的影响。结果表明:当坩埚厚度为15 mm时,熔化所需要的时间最短,比坩埚厚度为20 mm和25 mm时分别少31 min和74 min;结晶初期,坩埚厚度为25 mm时的固液界面最为平坦,最有利于晶体的生长;多晶硅晶体底部边缘和顶部边缘区热应力高;坩埚厚度为15 mm时,晶体内热应力最大,且随着坩埚厚度的增大,两个区域的应力都减小。

• 单位
  新余学院; 华东交通大学; 南昌大学机电工程学院; 江西省高等学校硅材料重点实验室