超声波扫描技术的缺陷检测分析及声阻抗研究

作者：曹军中; 陆标; 潘廷龙; 李依帆

来源：电声技术, 2023, 47(10): 1-3.

DOI：10.16311/j.audioe.2023.10.001

• 超声波扫描技术
• 缺陷检测
• 声阻抗

超声波扫描显微技术作为无损检测和探伤的有效手段，广泛应用于塑封半导体集成电路内部的分层、空洞和裂纹等缺陷的检测。由于各种材料的声阻抗不同，根据超声波的特点，如果样品内部有缺陷存在，超声波反射信号的强度分布就会产生差异。基于此，介绍基于超声波特性的缺陷检测分析和超声波在材料中的声阻抗。