针对在微纳力测量过程中所广泛采用的圆筒状电容结构,采用有限元方法,研究了不同条件下圆筒状电容装置轴线偏移对输出微纳力测量结果的影响。重点分析了当圆筒状电容内外电极相交长度不同时,内电容轴线偏移,输出微纳力的变化情况,并根据研究结果,得到了在利用圆筒状电容装置测量微纳力时,轴线偏移误差对输出微纳力影响较小区间。
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