气体微流量测量技术的发展

作者：张涤新; 赵澜; 成永军; 冯焱; 宋瑞海

来源：真空, 2010, (01): 1-6.

DOI：10.13385/j.cnki.vacuum.2010.01.025

• 气体微流量
• 气体微流量计
• 测量装置

本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。