MEMS惯性传感器高低温补偿方法

作者：张和铭; 秦刚; 梁渊; 马卓; 张晓天; 陈笑颖

来源：传感器与微系统, 2023, 42(09): 153-156.

DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)09-0153-04

• 微机电系统惯性传感器
• 最小二乘支持向量机
• 参数优化
• 误差辨识

微机电系统(MEMS)惯性传感器在生产过程中需要进行高低温测试和全温度范围的数据补偿，使其性能保持稳定。以往的传感器补偿设备抗干扰能力弱，补偿模型适应性差，无法满足传感器批量生产的需要。通过研究MEMS惯性传感器补偿流程，设计了一种针对某型MEMS惯性传感器的高低温补偿系统，实现传感器的自动测试和补偿。通过引入相关算法实现了基于误差辨识的参数优化最小二乘支持向量机(LS-SVM)算法。算法实现了对误差和干扰的自动识别。实验结果表明：所提方法能够提高MEMS惯性传感器批量化高低温补偿的精度。

• 单位
  西安工业大学