多层金属-介质镀膜光栅的聚焦特性

作者：李慧; 闫连山; 潘炜; 罗斌; 温坤华; 郭振

来源：激光与光电子学进展, 2012, (01): 152-155.

• 薄膜
• 表面等离子
• 亚波长结构
• 多层膜设计 thin films
• surface plasmons
• subwavelength structure
• multilayer design

结合等离子金属光栅原理和多层膜理论,提出一种金属-介质-金属多层光栅结构以增强透射光的聚焦效应。利用时域有限差分(FDTD)法对该多层结构的聚焦特性进行模拟仿真,得到多层结构的聚焦特性随金属-介质膜层数和凹槽数目的变化特性。结果表明,通过控制金属-介质层层数或者凹槽数目,焦距明显改善,焦距可达9.15μm,最大焦深约为26.38μm,相对于传统金属光栅,聚焦效应得到了明显增强。

• 单位
  西南交通大学; 微细加工光学技术国家重点实验室; 中国科学院光电技术研究所