智能制造的大数据分析

作者：James Moyne; Jimmy Iskandar

来源：电子工业专用设备, 2019, 48(06): 67-70.

<正>设备和工艺方面的专业知识是半导体制造分析解决方案的关键组成部分过去几年,应用材料公司在探索半导体制造业的大数据分析方法上一直走在业界前列。除了赞助美国、亚洲和欧洲先进制程控制(APC)大会[1]等重要的相关技术会议,应用材料公司在此方面的工作还体现在《IEEE半导体制造会刊》(IEEE Trans-

• 单位
  应用材料公司