在S参数的测量过程中,需通过去嵌方法去除测试夹具带来的结果误差。该算法通过时域的方法对夹具进行分解。接着将分解得到的夹具S参数采用ABCD矩阵运算进行去除,从而得到待测器件的S参数。通过设计测试板来进行实验,将该算法与传统的AFR和Delta L方法进行了比较,验证了该去嵌算法对高频信号的有效性以及准确性。同时由于该算法先分解再去嵌的特性,使其可应用于左右夹具不一致的情况。